一种镧掺杂锆钛酸铅薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种掺镧锆钛酸铅薄膜的制备方法。本发明以分析纯的硝酸铅，氧氯化锆、硝酸镧和四氯化钛为反应原料，以纯乙二醇甲醚作溶剂。计算各原料时按照(Pb_(1－x)/100La_x/100)(Zr_(1－y)/100100Ti_y/100)_{(1－x/4)/100}O₃，x取8～10，y＝35作计算依据，严格按照化学计量计算各原料的添加量(为防止铅在退火过程中挥发，配料时铅过量10％)制得镧掺杂锆钛酸铅前驱液；然后通过匀胶工艺制得镧掺杂锆钛酸铅薄膜，最后通过快速热处理工艺制得在具有铟锡氧化物涂层(ITO)玻璃基片上电光性能优越的镧掺杂锆钛酸铅薄膜。本发明效率高且易控制。

主权项

1.一种镧掺杂锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于：具体步骤为：(1)选用分析纯的硝酸铅，氧氯化锆、硝酸镧和四氯化钛为反应原料，以纯乙二醇甲醚作溶剂；(2)按照(Pb(1-x)/100Lax/100)(Zr(1-y)/100100Tiy/100)(1-x/4)/100O3，x取8～10，y＝35作计算依据，严格按照化学计量计算各原料的添加量，为防止铅在退火过程中挥发，配料时铅过量10％，制得镧掺杂锆钛酸铅前驱液；(3)将上述前驱液直接滴在清洗过的具有铟锡氧化物涂层的玻璃基片上，匀胶机转速为3500转/分钟，保持30秒，制得镧掺杂锆钛酸铅湿膜；(4)将上述湿膜经过300～400℃预处理后在580～650℃下退火5分钟，升温速率100℃/秒，制得在具有铟锡氧化物涂层玻璃基片上电光性能优越的镧掺杂锆钛酸铅薄膜。