电脑可读式遮罩缩小控制处理器

摘要

提供一种包含电脑可读式媒体之装置。电脑可读式媒体包含电脑可读式码以接收特征布局以及电脑可读式码以施加缩小校正到该特征布局上。施加缩小校正到该特征布局上之电脑可读式码包含提供角落截去、调整线宽与长度、形状变更等等以于图案化层中形成特征。