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发明名称 THERMOCOUPLE FIXING STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20070030611(A) 申请公布日期 2007.03.16
申请号 KR20050085400 申请日期 2005.09.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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