| 摘要 |
<p>Ein Strömungssteuersystem, das dazu in der Lage ist, eine Stabilisierung einer Fluidströmungsrate mit einer hohen Präzision sogar in dem Fall zu realisieren, in dem eine Druckschwankung eines Auslassfluids des Strömungssteuersystems auftritt, das heißt eines Strömungssteuersystems, das in einer Fluidzuführleitung angeordnet ist, die von einem Fluidzuführteil zu einem vorbestimmten Fluidverwendungsteil verläuft, das mit einem ersten Drucksteuerventilteil, das an der Seite des Fluidzuführteils angeordnet ist, und einem zweiten Drucksteuerventilteil, das an der Seite des Fluidverwendungsteils stromabwärtig des ersten Drucksteuerventilteils und eines Druckverlustteils angeordnet ist, wobei das erste Drucksteuerventilteil mit einem ersten Drucksteuermechanismus versehen ist, der das Auslassfluid durch ein erstes Ventilteil, das in einer ersten Ventilkammer angeordnet ist und sich bezüglich eines ersten Ventilsitzes gemäß der Druckschwankung des Einlassfluids nach hinten und nach vorne bewegt, auf einem vorbestimmten Druck halten kann, und das zweite Drucksteuerventilteil mit einem zweiten Drucksteuermechanismus versehen ist, der das Einlassfluid durch ein zweites Ventilteil, das in einer zweiten Ventilkammer angeordnet ist, das sich bezüglich eines zweiten Ventilsitzes gemäß der Druckschwankung des Auslassfluids nach hinten und nach vorne bewegt, auf einem vorbestimmten Wert gehalten werden kann.</p> |
