| 发明名称 |
Line with compensation using spatial variations in partial coherence |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1168083(B1) |
申请公布日期 |
2007.03.07 |
| 申请号 |
EP20010115009 |
申请日期 |
2001.06.20 |
| 申请人 |
ASML HOLDING N.V. |
发明人 |
MCCULLOUGH, ANDREW W.;GALLATIN, GREGG M. |
| 分类号 |
G02B5/18;G03F7/20;G02B3/00;G02B3/04;G02B19/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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