液体输送金属有机物化学汽相沉积设备

摘要

本发明是一种液体输送金属有机物化学汽相沉积设备，包含有多元汽化组件、反应室、射频放电等离子体、真空组件、操作防护与排放处理组件、电控组件。多元汽化组件由多路液态源输送通道、两路气体输送通道、雾化器、汽化器、阀门和管道构成，将液源雾化、汽化后，用载气送反应室，与反应气体生成所需氧化物，沉积在温度可控的衬底上形成薄膜。电控组件用可编程控制器PLC实现全工艺的自控。本发明解决了传统MOCVD不同材料间蒸气压差大难控制及输送障碍，对源材料要求降低，易于多薄膜交替沉积，可获组分精确的多组分薄膜及超晶格结构。可实现铁电、超导及氧化物电极薄膜的沉积，薄膜质量高；设备自动化程度高、结构紧凑。

主权项

1.一种液体输送金属有机物化学汽相沉积设备，包含有反应室组件、射频放电等离子体组件、真空组件、操作防护与排放处理组件、电控组件，射频放电等离子体组件通过输出电极接在反应室组件布气盒的电极上，反应室组件的气体输出管道连接到真空组件的气动阀门上，真空组件的废气输出通道直接连接到操作防护与排放处理组件的废气处理装置，其特征在于：总设备还包含有多元汽化组件(1)，多元汽化组件(1)为可更换的整体化组件，主要由多路液态源输送通道、两路气体输送通道、雾化器(19)、汽化器(20)、阀门和管道构成，其中的雾化器(19)处于汽化器(20)顶部，采用密封圈(56)密封，汽化器结构为圆筒状，圆筒中上部侧壁上焊接有管件(51)，载气与反应气体的混合气体(52)的通过管件(51)进入汽化器(20)；液态源输送通道的构成是相同的，液态源即MO源，单路液态输送通道按液体输入方向依次安装有MO源容器、电磁阀、输送泵、背压阀、电磁截止阀，各路液态源的输送通道的末尾电磁截止阀的输出通过转接件合并后又分为两路，一路通过电磁截止阀接到操作防护与排放处理组件(5)，另一路通过电磁截止阀接到雾化器(19)，被输送的液体经雾化和汽化后与载气与反应气体混合后的总气体(40)通过波纹管输送到反应室组件(2)；汽化器(20)带有加热器(54)，管件(51)带有加热器(50)，带有可编程触摸屏的电控组件(6)与各构成组件电路连接，采用可编程控制器PLC构成，对全部工艺过程进行自动控制。