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Eine Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate unter atmosphärischen Sonderbedingungen sieht gleich gerichtete, unabhängig voneinander längs der in Reihe angeordneten Module verlaufenden Führungsbahnen vor, auf denen Transfereinheiten angeordnet sind, die jeweils auf die Modulreihe zu auskragende Transferkammern aufweisen, welche Reinräume bilden und unabhängig voneinander gegeneinander verfahrbar sowie mit jeweiligen Modulen zu verbinden sind, die ihrerseits bevorzugt bezüglich ihrer Übergabeöffnungen nach deren Höhenlage gruppiert und auf die Höhenlage einer jeweiligen Transferkammer abgestimmt angeordnet sind.
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