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发明名称 Arm Module of Etching Apparatus
摘要
申请公布号 KR20070020980(A) 申请公布日期 2007.02.22
申请号 KR20050075420 申请日期 2005.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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