| 发明名称 | 包括环烯烃共聚物的压印印模 | ||
| 摘要 | 一种在压印工艺中用两步工艺以将图案从模板(1)转印到物体(12)的方法。第一步包括将模板表面的图案与包含一种或多种环烯烃共聚物(COC)的聚合物材料接触，以产生具有与模板表面相反图案的结构表面的柔性聚合物复制件。在第二步骤，从模板解脱柔性聚合物复制件后，柔性聚合物复制件的相反图案被压入衬底上的抗蚀剂层中，以在其中压印模板表面图案的复制件。 | ||
| 申请公布号 | CN1916759A | 申请公布日期 | 2007.02.21 |
| 申请号 | CN200610110802.3 | 申请日期 | 2006.06.12 |
| 申请人 | 奥布杜卡特公司 | 发明人 | 巴贝克·海达里;马克·贝克;马赛厄斯·基尔 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 范明娥;巫肖南 |
| 主权项 | 1.一种用于压印工艺的聚合物印模，其包括具有在其上形成结构图案的表面的聚合物箔，其中所述聚合物箔是由包含一种或多种环烯烃共聚物(COC)的材料制成。 | ||
| 地址 | 瑞典马尔默 | ||