用于晶片快速加热之晶片上加热电路与控制回路

摘要

一种积体电路包括被配置在控制器的控制之下对积体电路加热的加热电路。具有可调节的极点、零点和整体增益的传递函数被实现在控制器中，从而使得积体电路的温度回应能够通过调节可调节的极点、零点和整体增益中的一个或多个来改变。