形成具有应力缓冲环之贯矽导孔的方法

摘要

一种形成一具有应力缓冲环的导孔之方法，其中该应力缓冲环可以吸收由于周遭材料之热膨胀系数不匹配所造成之应力。其他实施例也被描述与主张。