探针及其制造方法

摘要

本发明提供一种探针及其制造方法，梁部11由支持部12与柱部13形成L字形之弯曲平面形状，且于柱部13之一端，以于与柱部13之延伸方向相同的方向延伸之方式而设置接触件14，从而构成探针10。支持部12与柱部13均由例如约70～80μm之几乎均一厚度的镍或镍合金而形成，接触件14为比梁部11更薄之板状，且由约10～20μm之几乎均一厚度的镍或镍合金而形成。接触件14使前端部变尖而形成。