Integrierte Schaltungen mit Induktionsspulen in mehreren leitenden Schichten

摘要

Es werden zwei in mehreren Schichten von leitenden Schichten von integrierten Schaltungen ausgebildete Induktionsspulen offenbart. Symmetrische Abschnitte einer ersten Induktionsspule und einer zweiten Induktionsspule sind in zwei oder mehr leitenden Schichten ausgebildet. Abschnitte der ersten Induktionsspule in benachbarten leitenden Schichten sind über Durchkontakte verbunden, und Abschnitte der zweiten Induktionsspule in benachbarten leitenden Schichten sind über Durchkontakte verbunden. Die ersten und zweiten Induktionsspulenabschnitte bilden eine im wesentlichen schleifenförmige Struktur in jeder leitenden Schicht. Die ersten und zweiten Induktionsspulendurchkontakte können in der gleichen Position in der im wesentlichen schleifenförmigen Induktionsspulenstruktur positioniert werden durch Abwechseln von inneren und äußeren Radien, oder die Durchkontakte für die zweite Induktionsspule können gegenüber den Durchkontakten für die erste Induktionsspule in der im wesentlichen schleifenförmigen Induktionsspulenstruktur positioniert werden, wobei Kerben in den ersten und zweiten Induktionsspulenabschnitten verwendet werden.