基板之搬送装置

摘要

本发明系提供一种藉由端部支撑滚轮及负重滚轮以同等力固持基板宽度方向两端部之上下面的搬送装置。该基板之搬送装置系具备有轴线相对于基板之搬送方向交叉并以一定间隔配置之复数搬送轴3，设于搬送轴且支撑基板宽度方向两端部以外之部份的下面之复数搬送滚轮21及支撑基板宽度方向两端部的下面之端部支撑滚轮22，分别于搬送轴一端部及另一端部上方使其轴线与前述搬送轴平行且其对应于搬送轴两端部之一端部受支撑并可旋转之一对负重滚轮轴25，设于各前述负重滚轮轴之另一端部且分别按压宽度方向的端部上面之一对负重滚轮27，以及调整设于负重滚轮轴之负重滚轮按压前述基板上面之按压力之配重29。