制作镍铂合金矽化物的方法

摘要

本发明提供一种制作镍铂合金矽化物的方法，该方法先提供一包含有至少一含矽元件之基底，接着于基底表面形成一镍铂合金层，并且进行一快速热处理制程，以使镍铂合金层与含矽元件反应形成镍铂合金矽化物，之后于镍铂合金矽化物表面形成一保护层，以及利用一硝酸与盐酸之混合溶液去除未反应之镍铂合金层。