发明名称 绘图装置及绘图方法
摘要 【课题】在N重绘图形式的绘图装置中,即使是在绘图头之画素阵列中的画素列之角度误差具有偏差的场合,也可减轻其所起因之绘图画像的不均现象。【解决手段】有关以2次元状排列之可使用画素之画素列方向与绘图头30对绘图面12A之扫描方向系成既定之设定倾斜角度的绘图头30,其系利用由使用画素指定部140或设定变更手段150等所构成的使用画素设定手段,以使上述多数个可使用画素当中之在N重绘图中所要使用的使用画素可实际运作的方式,因应上述画素列对扫描方向之倾角的偏差来执行上述使用画素的设定。其后,使曝光头30一边对载物台14相对移动,一边使依上述设定所指定的使用画素实际运作而在绘图面12A上执行绘图。
申请公布号 TW200705134 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW095110844 申请日期 2006.03.29
申请人 富士照相软片股份有限公司 发明人 角克人
分类号 G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F9/00(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本