高纯度矽之制造方法

摘要

本发明提供一种高纯度矽之制造方法。该高纯度矽之制造方法系以铝还原下式(1)所示之卤化矽而制得矽之方法，用作还原剂的铝的纯度为99.9重量％以上。SiHnX4–n：(1)(式中，n为0至3之整数，X为选自F、Cl、Br、I之1种或2种以上之卤原子，该铝的纯度为由100重量％扣除该铝所含的铁、铜、镓、钛、镍、钠、镁与锌的合计重量％的余额。)