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发明名称
WÄRMEBEHANDLUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE60125241(D1)
申请公布日期
2007.01.25
申请号
DE20016025241
申请日期
2001.10.24
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
SAITO, YUKIMASA
分类号
H01L21/205;C30B33/00;F27B17/00;F27D7/02;G01L19/06;H01L21/00
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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