发明名称 Spektralellipsometer
摘要
申请公布号 DE60125131(D1) 申请公布日期 2007.01.25
申请号 DE20016025131 申请日期 2001.10.23
申请人 HORIBA LTD. 发明人 OTSUKI, KUNIO;SAIJO, YUTAKA
分类号 G01B11/06;G01N21/21;G01J4/04;G01N21/41;G02B5/04;G02B27/28 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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