受激准分子灯和受激准分子灯装置

摘要

本发明提供了一种受激准分子灯装置，该受激准分子灯装置能快速地检测通过放电管的中空部的冷却水的漏水，防止漏水侵入工件，或防止污染洁净室。受激准分子灯装置(10)通过保护管(30)，将放电管(20)的外侧包围并密封。使氮气等的冷却用气体通过上述放电管(20)和保护管(30)之间的空间(31)，对其进行强制冷却。如果在该空间(31)发生漏水，则通过漏水检测器(52)检测该漏水，或通过湿度传感器(55)检测混入到冷却用气体中的水蒸汽，发出警报。此外，在设置于放电管(20)和保护管(30)的端部的管座(40)上，设置有排放漏水的排放通路(44)。

主权项

1.一种受激准分子灯，该受激准分子灯具有放电管的外表面的外侧电极和放电管的内侧的内侧电极，该放电管具有按照相互同轴的方式设置的呈圆筒状的内管和外管，上述内管和外管的两端面密封，内部密封有放电气体，冷却用液体通过上述放电管的内侧，其特征在于：在上述放电管的外侧，按照与上述放电管同轴的方式，设置有保护管，上述保护管和放电管之间的空间密封，冷却用气体通过该空间，对其进行强制冷却，在设置于上述放电管和保护管两端的一对管座的至少一方上，设有排放通路口，在上述冷却用液体泄漏到上述保护管的内部的情况下，可排除泄漏到上述保护管的内部的冷却用液体。