| 发明名称 | 稀土金属构件及制造方法 | ||
| 摘要 | 使用具有最低含量的杂质金属元素的稀土金属，将其加工成构件并用基于有机酸的封端剂进行清洗，获得完全由稀土金属组成并且在亚表面区域包含不多于100ppm的杂质金属元素的稀土金属构件，该稀土金属构件的特征在于高表面纯度、大晶粒尺寸、最少的晶界和提高的耐卤素性或耐蚀性。 | ||
| 申请公布号 | CN1891863A | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
| 申请号 | CN200610099687.4 | 申请日期 | 2006.06.29 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 塚谷敏彦;中野瑞;前田孝雄 |
| 分类号 | C23F4/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);C22C28/00(2006.01);C23G1/02(2006.01) | 主分类号 | C23F4/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 蔡胜有 |
| 主权项 | 1.一种稀土金属构件，基本由稀土金属构成并具有最层表面，所述构件在从最外层表面到2μm深度的区域中包含不多于100ppm的稀土金属以外的至少一种金属元素。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||