| 摘要 |
一种大气式电浆(AP plasma)清洁设备，其包括：一电浆产生模组、一气体供应模组、一输送模组、一控制模组、及一电源供应模组。该电浆产生模组系可于常压下产生电浆区域，因此符合线上(in–line)生产之要求；该气体供应模组系连通于该电浆产生模组，以提供气体给该电浆产生模组使用；该输送模组系设置于该电浆产生模组下方，用以承载至少一待清洁物至该电浆产生模组所产生之电浆区域，以进行该待清洁物之清洁，其中当该待清洁物经过该电浆区域时，该待清洁物的表面温度约为50～80度，因此不会造成待清洁物表面的损伤。 |
