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发明名称 ASSEMBLY FOR WAFER HANDLING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100660996(B1) 申请公布日期 2006.12.26
申请号 KR20000029008 申请日期 2000.05.29
申请人 发明人
分类号 B65G49/07;B25J15/08;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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