微影装置及器件制造方法

摘要

一微影投影装置，其利用一份第二液体之容积将一第一液体约束在一介于投影系统与基板间之空间。在一实施例中，该第一和第二液体大致不互溶且分别可为：环烷类譬如环辛烷、十氢、联环己烷、外–四氢–二环戊二烯和环己烷，另一高指数碳氢化合物，全氟聚醚类譬如全氟–N–甲基吗和全氟E2，全氟烷类譬如全氟己烷，或是氢氟醚；以及水。