制备具有高分散稳定度之抛光泥浆的方法

摘要

本发明系有关于一种制备抛光泥浆之方法，包含使抛光颗粒及阴离子性聚合物酸分散于水中，然后，于形成之分散液添加以100重量份之抛光颗粒为基准订为0.1至8重量份之量之硷性材料，。藉由本发明获得之抛光泥浆展现良好之分散稳定度及非普利斯通抛光性能，其可有利地用于各种精密电子元件之化学机械抛光。