交错振动式电场传感器

摘要

本发明是一种交错振动式微型电场传感器，包括基底1，感应电极2，屏蔽电极3，驱动结构4，外壳5。感应电极2和屏蔽电极3边缘有处于交错状态的梳齿。当屏蔽电极3表面凸出于感应电极2的表面时，感应电极2表面感应电荷较多；当屏蔽电极3表面下凹于感应电极2的表面时，感应电极表面感应电荷较少。在驱动结构4上施加驱动电压时，感应电极2和屏蔽电极3的相对位置随时间发生变化，输出感应电流。测量这个电流的大小可以测量电场强度。这种振动方式使本发明传感器具有感应信号大、工作状态稳定的特点。

主权项

1.一种交错振动式电场传感器，其特征在于，感应电极和屏蔽电极边缘有处于交错状态的梳齿结构，当屏蔽电极表面凸出于感应电极的表面时，传感器感应电极表面电荷较少，当屏蔽电极表面下凹于感应电极的表面时，传感器感应电极表面电荷较多；在驱动结构上施加驱动力时，屏蔽电极在这两种位置之间变化，使感应电极输出感应电流，测量这个电流的大小可以测量电场强度。