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发明名称 Phase Shift Mask
摘要
申请公布号 KR100627210(B1) 申请公布日期 2006.12.01
申请号 KR19960031432 申请日期 1996.07.30
申请人 发明人
分类号 G03F1/32;G03F1/26 主分类号 G03F1/32
代理机构 代理人
主权项
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