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发明名称
摘要
申请公布号 JP3851898(B2) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 JP20030335951 申请日期 2003.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L23/522;H01L27/04;H01L21/768;H01L21/822 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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