发明名称 Etching liquid composition
摘要
申请公布号 EP1187225(B1) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP20010307555 申请日期 2001.09.05
申请人 KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIKAWA, NORIO;MORI, KIYOTO
分类号 H01L21/3213;C23F1/14;H01L31/18;C09K13/00 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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