| 发明名称 |
DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SUBSTRATE COMPRISING RADIATION SENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1719157(A2) |
申请公布日期 |
2006.11.08 |
| 申请号 |
EP20050707571 |
申请日期 |
2005.02.22 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
PELLENS, RUDY, JAN, MARIA |
| 分类号 |
H01L21/28;G03F7/004;G03F7/095;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
