奈米碳管阵列结构之制备装置

摘要

本发明涉及一种奈米碳管阵列结构之制备装置，其包括一反应腔，其中该反应腔包括一第一气体入口，一第二气体入口，一气体出口，反应腔内设置一气体输送管及一用于承载生长奈米碳管用基底之承载元件，气体输送管一端连接第二气体入口，另一端通入该承载元件。