一种实时光学薄膜厚度监控设备

摘要

本实用新型公开了一种实时光学薄膜厚度监控设备，由光电传感器、直流信号放大器、A/D转换器、均值滤波器、安装有剔除奇异项、极值点判断软件的计算机及显示器依次连接构成。本实用新型克服了自动化程度低、操作者劳动强度大、监控单元分辨率不高、信号处理能力差、极值点难以判断，以及数据不能自动存储等问题，从而实现了镀制过程中对光学薄膜光谱特性的实时在线监控。

主权项

1、一种实时光学薄膜厚度监控设备，其特征在于由光电传感器(1)、直流信号放大器(2)、A/D转换器(3)、均值滤波器(4)、安装有剔除奇异项(5)、极值点判断(6)软件的计算机及显示器(7)依次连接构成。