发明名称 |
电浆蚀刻夹框 |
摘要 |
本案是一种电浆蚀刻夹框,其是由框壁所围组而成的夹框,顶部与底部俱为开放端,且其尺寸不小于工作件的尺寸,底部则设升降连结装置;夹框围套工作件,当升降连结装置连结于升降装置并为升降时,改变夹框与工作件的空间,进而改变其内的电浆离子浓度。 |
申请公布号 |
CN1280453C |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN03119947.X |
申请日期 |
2003.03.10 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
梁忠棋;张昭升;黄木上;彭顺煌 |
分类号 |
C25F3/02(2006.01);C25F7/00(2006.01);H01L27/12(2006.01);C03C19/00(2006.01) |
主分类号 |
C25F3/02(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
陈桢 |
主权项 |
1、一种电浆蚀刻夹框,其特征在于,其是由框壁所围组而成的夹框,顶部与底部俱为开放端,且其尺寸不小于工作件的尺寸,底部则设升降连结装置;夹框围套工作件,当升降连结装置连结于升降装置并为升降时,改变夹框与工作件的空间,进而改变其内的电浆离子浓度。 |
地址 |
台湾省新竹市科学工业园区 |