| 发明名称 | 正型光阻剂组合物及形成光阻图样的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有均匀反应性的正型光阻剂组合物，涂布后分别在不同制程步骤进行热交联反应及光分解反应而形成图形线路。这一新型的光阻剂组合物由一多组分树脂组合物、一光酸产生剂及一反应性单体所组成。当光阻剂组合物在软烤(soft-baking)时，该反应性单体与该多组分树脂组合物先形成一具有网状结构的聚合物。接着光阻剂组合物在曝光光源照射下，所产生的酸会使光阻剂中的多组分树脂分别进行化学增幅型树脂去保护基反应，以及网状结构树脂的光分解反应。因此，本发明所述的正型光阻剂由于其较佳的碱性对比能力及均匀的反应性，在微影制程时可得到较佳的光阻深宽比及分辨率。 | ||
| 申请公布号 | CN1280676C | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN03132821.0 | 申请日期 | 2003.07.21 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院;长春人造树脂厂股份有限公司 | 发明人 | 曾炜展;宋清潭;庄志新;黄坤源;杜安邦 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高龙鑫;楼仙英 |
| 主权项 | 1.一种具有均匀反应性的正型光阻剂组合物，包括溶解在有机溶剂中形成均匀溶液形式的：(a)酚醛树脂化合物，100重量份；(b)具有对酸不稳定官能基的树脂化合物，1至100重量份；(c)反应性单体，其以乙烯基醚反应性单体或脂环族环氧化物为主结构，1至100重量份；以及(d)光酸产生剂，1至35重量份。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹县 | ||