发明名称 感光性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法
摘要 将一种含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,作为图案形成组合物进行使用。 (式中,X<SUB>1</SUB>和X<SUB>2</SUB>表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基,它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基)。
申请公布号 CN1849560A 申请公布日期 2006.10.18
申请号 CN200480026212.1 申请日期 2004.12.15
申请人 东京応化工业株式会社 发明人 前田浩辉;高桥亨;胜又直也
分类号 G03F7/029(2006.01);G03F7/038(2006.01);C08G59/68(2006.01) 主分类号 G03F7/029(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 孙秀武;邹雪梅
主权项 1.感光性树脂组合物,其特征在于,其中含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂,[化学式1]<img file="A2004800262120002C1.GIF" wi="1457" he="425" />(式中,X<sub>1</sub>和X<sub>2</sub>表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者可以与取代基键合的烷氧基,并且它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基。)
地址 日本神奈川县川崎市