发明名称 |
感光性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法 |
摘要 |
将一种含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,作为图案形成组合物进行使用。 (式中,X<SUB>1</SUB>和X<SUB>2</SUB>表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基,它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基)。 |
申请公布号 |
CN1849560A |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN200480026212.1 |
申请日期 |
2004.12.15 |
申请人 |
东京応化工业株式会社 |
发明人 |
前田浩辉;高桥亨;胜又直也 |
分类号 |
G03F7/029(2006.01);G03F7/038(2006.01);C08G59/68(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/029(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
孙秀武;邹雪梅 |
主权项 |
1.感光性树脂组合物,其特征在于,其中含有多官能环氧树脂和由下述通式(1)表示的阳离子聚合引发剂,[化学式1]<img file="A2004800262120002C1.GIF" wi="1457" he="425" />(式中,X<sub>1</sub>和X<sub>2</sub>表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者可以与取代基键合的烷氧基,并且它们之间可以相同或不同;Y表示氢原子、卤素原子、可以含有氧原子或卤素原子的烃基、或者是可以与取代基键合的烷氧基。) |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |