发明名称 KATHODE FÜR VAKUUMZERSTÄUBUNGSBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT341830(T) 申请公布日期 2006.10.15
申请号 AT20030763935T 申请日期 2003.07.08
申请人 TECMACHINE 发明人 AULAGNER, MICHEL;LABALME, LIONEL
分类号 H05H1/24;C23C14/34;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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