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发明名称 SPIN SCRUBBER
摘要
申请公布号 KR20060106274(A) 申请公布日期 2006.10.12
申请号 KR20050028851 申请日期 2005.04.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LIM, MOOM TAEK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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