| 发明名称 | 洗涤方法及洗涤装置 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种洗涤方法及洗涤装置，洗涤装置具备：提供碱性的洗涤用液体的洗涤用水供给部(50)、提供高压空气的高压空气供给部(40)、以及使所提供的洗涤用水与高压空气混合以使其形成雾状，向半导体晶片(W)喷射的双流体喷嘴(30)。 | ||
| 申请公布号 | CN1840248A | 申请公布日期 | 2006.10.04 |
| 申请号 | CN200610073365.2 | 申请日期 | 2006.03.31 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 速水直哉;藤田博 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01);B08B3/02(2006.01);B05B7/04(2006.01);B08B3/10(2006.01);H01L21/304(2006.01);G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | B08B3/08(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沈昭坤 |
| 主权项 | 1.一种洗涤方法，其特征在于，提供碱性洗涤用水，提供高压气体，将所提供的所述洗涤用水与所述气体进行混合使其形成雾状，向被洗物体喷射。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||