在制程中测量低介电常数的薄膜性质

摘要

一种决定制造基板上低介电常数薄膜的介电系数的方法与系统。此方法包含用椭圆仪测量介电常数的电子组成，用红外光谱仪测量介电常数的离子组成，用微波光谱仪测量整体介电常数，以及推导出介电常数的偶极组成。此测量方法为非接触式，并且装置在测量后还可以继续后续的制程。