自矽表面移除不可见矽及不可见碳化矽之方法及用于电浆处理装置之碳化矽电极

摘要

本发明提供一种用以自一电浆处理室之一上电极的一电浆曝露表面移除不可见矽或不可见碳化矽之方法。该方法包含使用包括一含氟气体之一气体成分形成一电浆，以及采用该电浆自该表面移除该不可见矽或不可见碳化矽。该方法还可以自该处理室中移除该上电极以外的组件之表面移除不可见矽或不可见碳化矽。