| 摘要 |
本发明，系于接合装置，以高精度补偿接合机械部之电容成分，并以高精度测定引线与对象元件间之连接状态。打线装置10，包含：作为用以将引线接合于对象元件4之机构部分的接合机械部20，测定对象元件4与引线间之连接状态的测定部50，以及控制装置全体动作的控制部40。测定部50之AC–C测定电路60，包含：AC电源62，作出与接合前之接合机械部20之电容成分大致相等电容的等价电容电路64，取出接合后接合机械部20之电容成分与等价电容电路64之电容之差的差动电路68，放大电路70，整流电路72，A／D转换电路74，判定连接状态之判定部80，以及输出部90。 |
