使用独立卡座旋转而改善批式喷雾处理的均匀度

摘要

一种执行批次喷雾处理的方法，包含：提供安装在一旋转台上的一基材；转动该旋转台，以绕着该旋转台的一中心轴线回转该基材；独立于该旋转台地转动该基材，其中，该基材的旋转和该旋转台的旋转同时发生；和从至少一固定的位置喷洒一化学物质至该基材上。独立于该旋转台而转动该基材，允许基材的整个周围暴露于化学物质喷雾。在一个实施例中，基材可装载进入处理卡座内，处理卡座可安装在旋转台上，且当旋转台旋转时，处理卡座可独立于旋转台而转动。