一种带高灵敏度温度传感器的新型氧化铝陶瓷加热片

摘要

本实用新型涉及一种带高灵敏度温度传感器的新型氧化铝陶瓷加热片，包括氧化铝膜片、设置在氧化铝膜片上的发热电阻膜及其引出线；其特点是：氧化铝膜片上还间隔设置多条测温电阻膜及其引出线；其中，将氧化铝膜片分为三区域，即中间与边缘区域；设置在中间区域的发热电阻膜的宽度略宽于边缘区域的发热电阻膜的宽度；还包括在氧化铝膜片及其发热电阻膜和测温电阻膜上覆盖氧化铝膜片，氧化铝膜片和氧化铝膜片在还原气氛下烧结成全密封加热片整体；在氧化铝膜片一侧真空层压烧结多片氧化铝基片，供两发热电阻膜引出线和两测温电阻膜引出线连接。本实用新型保证氧化铝膜片表面温度均匀恒定，其可测试温度高且结构简单，无污染寿命长，因此极为实用。

主权项

1.一种带高灵敏度温度传感器的新型氧化铝陶瓷加热片，所述的加热片(100)包括：氧化铝膜片(1)，间隔设置在氧化铝膜片(1)上的多条发热电阻膜(2)，与发热电阻膜(2)连接的两发热电阻膜引出线(21、22)；其特征在于：在所述的氧化铝膜片(1)上间隔设置多条测温电阻膜(3)，与测温电阻膜(3)连接的测温电阻膜引出线(31、32)。