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发明名称 Method for Manufacturing Cu Damascene
摘要
申请公布号 KR100617061(B1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20040117603 申请日期 2004.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/288;H01L21/3205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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