| 发明名称 |
Perfectionnements à la fabrication des dispositifs à semi-conducteurs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1364522(A) |
申请公布日期 |
1964.06.19 |
| 申请号 |
FR19630942804 |
申请日期 |
1963.07.26 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/00;C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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