发明名称 可调整晶圆负载埠位置之微调机构
摘要 一种用来调整负载埠位置之微调机构于此处揭露。其中,此微调机构具有彼此垂直布置的第一螺丝柱与第二螺丝柱,且可装设于负载埠面板角落位置的长条状镂空开口中。藉着使第二螺丝柱贯穿镂空开口且抵住后方的机台,可经由罩覆于第二螺丝柱表面的圆柱状套筒,来控制负载埠面板远离或靠近后方的机台。另外,第一螺丝柱则是由负载埠面板侧边贯入而凸出于镂空开口中,且与圆柱状套筒间具有固定连结的关系,是以在对第一螺丝柱进行旋转时,可利用第二螺丝柱固定支点的效果,而使负载埠面板上升或下降。
申请公布号 TWI260726 申请公布日期 2006.08.21
申请号 TW092119070 申请日期 2003.07.11
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 吴耀文;郑宗淦;吴宗梁;林正超;林学成;蔡嘉福;叶志荣;黄弘泽;蔡瑞文
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 李长铭 台北市中山区南京东路2段53号9楼
主权项 1.一种用来调整负载埠位置之微调机构,可装设于该负载埠面板角落,而控制该负载埠上升或下降、远离或靠近后方的机台,该微调机构可装设于该负载埠面板角落的长条状镂空开口中,且在该镂空开口两侧的该负载埠面板上并制作了两个下凹的条状滑槽,该微调机构至少包括:第一螺丝柱,由该负载埠面板上方侧边,向下垂直贯穿入面板,并可以螺纹契合的方式旋入或旋出该负载埠面板,该第一螺纹柱之前端在旋入该负截面板后,可凸出并显露于该镂空开口的上侧;圆柱状套筒,垂直于该第一螺丝柱,且可由该负载埠面板正面贯穿该镂空开口,其中该第一螺丝柱的前端并固定连结于该圆柱状套筒的外壳上表面,当该第一螺丝柱相对于该负截面板产生上下位移时,该圆柱状套筒亦会随着该第一螺丝柱产生相同的上下位移,其中该圆柱状套筒两侧并具有滑片,可在上述条状滑槽中滑动,并可以螺丝锁定的方式,使该圆柱状套筒与该负截面板间产生固定的连结效果;及第二螺丝柱,位于该圆柱状套筒中,可以螺纹契合方式旋入或旋出该圆柱状套筒,其中该第二螺丝柱之前端,可固定于该机台侧壁上而作为支点使用;当该第一螺丝柱以顺时针方向旋转时,可经由作为固定支点使用的该第二螺丝柱,而使该负载埠面板相对于该机台产生向上的移动,反之当该第一螺丝柱以逆时针方向旋转时,则可经由作为固定支点之该第二螺丝柱,而使该负载埠面板相对于该机台产生向下的移动,且当该第二螺丝柱以顺时针方向旋转时,由于其固定支点之效果,可使该套筒朝远离该机台之方向移动,反之当该第二螺丝柱以逆时针方向旋转时,由于其固定支点之效果,可使该套筒朝接近该机台之方向移动。2.如申请专利范围第1项之机构,其中在上述第一螺丝柱下端并具有一球壳状之抓罩。3.如申请专利范围第2项之机构,其中在上述圆柱状套筒外壳上表面,具有一球头柱状物,该球头柱状物之球头部份,正好被该抓罩所夹钳,而使该套筒与该第一螺丝柱间产生固定连结。4.如申请专利范围第1项之机构,其中位于上述圆柱状套筒外壳两侧的滑片,是以连杆连接并固定于该圆柱状套筒上。5.如申请专利范围第4项之机构,其中上述滑片并具有两个螺丝旋孔,可藉着锁紧螺丝的方式,使该滑片固定于该滑槽中,而使该套筒与该负载埠面板间产生固定的连接关系。6.如申请专利范围第5项之机构,其中当上述第二螺丝柱以顺时针方向旋转,而使该套筒朝远离该机台的方向移动时,该负载埠面板亦会沿着远离该机台的方向移动。7.如申请专利范围第5项之机构,其中当上述第二螺丝柱以逆时针方向旋转,而使该套筒朝接近该机台之方向移动时,该负载埠面板亦会沿着接近该机台的方向移动。8.一种用来调整负载埠位置之微调机构,可装设于该负载埠面板角落,而控制该负载埠上升或下降、远离或靠近后方的机台,该微调机构可装设于该负载埠面板角落的长条状镂空开口中,且在该镂空开口两侧的该负载埠面板上并制作了两条下凹的条状滑槽,该微调机构至少包括:第一螺丝柱,由该负载埠面板上方侧边,向下垂直贯穿入面板,并可以螺纹契合的方式旋入或旋出该负载埠面板,该第一螺纹柱之下端在旋入该负截面板后,可凸出并显露于该条状开口中,其中该第一螺丝柱下端并具有一球壳状之抓罩;圆柱状套筒,与该第一螺丝柱垂直,且贯穿于该镂空开口中,在该圆柱状套筒外壳上表面并具有一球头柱状物,该球头柱状物之球头部份,正好被该抓罩所夹钳,而使该圆柱状套筒与该第一螺丝柱产生固定连结;两个条状滑片,分别位于该圆柱状套筒两侧,且分别以连杆而连结并固定于该圆柱状套筒外壳两侧,当该圆柱状套筒在该条状开口中,产生相对于该负载埠面板之上下移动时,该条状滑片亦会随着该圆柱状套筒移动,而在该滑槽中产生上下滑动,其中可藉着螺丝将该滑片固定于该滑槽中,而使该套筒与该负载埠面板产生固定连结;及第二螺丝柱,位于该圆柱状套筒中,并可以螺纹楔合方式旋入或旋出该圆柱状套筒,其中该第二螺丝柱具有较该圆柱状套筒长的长度,是以该第二螺丝柱之前端,可凸出于该圆柱状套筒,并固定于该机台侧壁上之特定点,而使该第二螺丝柱作为支点使用;当该第一螺丝柱以顺时针方向旋转时,可经由作为固定支点使用的该第二螺丝柱,而使该负载埠面板藉由螺纹楔合的向上推力,而相对于该机台产生向上的移动,反之当该第一螺丝柱以逆时针方向旋转时,则可经由作为固定支点之该第二螺丝柱,而使该负载埠面板藉由螺纹楔合的向下压力,而相对于该机台产生向下的移动,至于当该第二螺丝柱以顺时针方向旋转时,由于该固定支点之效果,可使该套筒朝远离该机台之方向移动,并经由锁定于该滑槽中之该滑片,而将该负载埠面板朝远离该机台之方向移动,反之当该第二螺丝柱以逆时针方向旋转时,由于该固定支点之效果,可使该套筒朝接近该机台之方向移动,并经由锁定于该滑槽中之该滑片,而将该负载埠面板朝接近该机台之方向移动。9.一种用来调整负载埠位置之微调机构,可装设于该负载埠面板角落,而控制该负载埠远离或靠近后方的机台,该微调机构可装设于该负载埠面板角落的长条状镂空开口中,且在该镂空开口两侧的该负载埠面板上并制作了两个下凹的条状滑槽,该微调机构至少包括:圆柱状套筒,可由该负载埠面板正面贯穿该镂空开口,其中该圆柱状套筒两侧并具有滑片,可在上述条状滑槽中滑动,并可以螺丝锁定的方式,使该圆柱状套筒与该负截面板间产生固定的连结;第二螺丝柱,位于该圆柱状套筒中,可以螺纹契合方式旋入或旋出该圆柱状套筒,其中该第二螺丝柱之前端,可固定于该机台侧壁上而作为支点使用;及当该第二螺丝柱以顺时针方向旋转时,由于该固定支点之效果,可使该套筒朝远离该机台之方向移动,并经由锁定于该滑槽中之该滑片,而将该负载埠面板朝远离该机台之方向移动,反之当该第二螺丝柱以逆时针方向旋转时,由于该固定支点之效果,可使该套筒朝接近该机台之方向移动,并经由锁定于该滑槽中之该滑片,而将该负载埠面板朝接近该机台之方向移动。10.如申请专利范围第9项之机构,其中当要对该负载埠面板进行上下方向的调整时,可使用第一螺丝柱,由该负载埠面板侧边,侧向贯穿入面板,并以螺纹契合的方式旋入或旋出该负载埠面板,该第一螺纹柱之前端在旋入该负截面板后,并会凸出且显露于该镂空开口中。11.如申请专利范围第10项之机构,其中上述第一螺丝柱的前端并固定连结于该圆柱状套筒的外壳上表面,当该第一螺丝柱相对于该负截面板产生上下位移时,该圆柱状套筒亦会随着该第一螺丝柱产生相同的上下位移。12.如申请专利范围第11项之机构,其中当上述第一螺丝柱以顺时针方向旋转时,可经由作为固定支点使用的该第二螺丝柱,而使该负载埠面板相对于该机台产生向上的移动,反之当该第一螺丝柱以逆时针方向旋转时,则可经由作为固定支点之该第二螺丝柱,而使该负载埠面板相对于该机台产生向下的移动。13.如申请专利范围第11项之机构,其中在上述第一螺丝柱下端并具有一球壳状之抓罩。14.如申请专利范围第13项之机构,其中在上述圆柱状套筒外壳上表面,具有一球头柱状物,该球头柱状物之球头部份,正好被该抓罩所夹钳,而使该套筒与该第一螺丝柱间产生固定连结。15.如申请专利范围第9项之机构,其中位于上述圆柱状套筒外壳两侧的滑片,是以连杆连接并固定于该圆柱状套筒上。图式简单说明:第一图为吊轨天车结构图,显示目前使用吊轨天车搬运前开式卡匣之情形;第二图为负载埠侧视图,显示目前用来连系吊轨天车与机台间之负载埠;第三图为机台俯视图,显示由机台上方俯视机台、吊轨天车、负载埠、与前开式卡匣之连结关系;第四图为机构正视图,显示根据本发明装设于负载埠面板上之微调机构;第五图为机构正视图,显示根据本发明所提供微调机构之详细结构图示;第六图为机构侧视图,显示由侧面观察负载埠面板与机台之情形;及第七图为机构俯视图,显示由负载埠面板上方向下俯视之结构图。
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