光阻层的表面处理方法及图案化光阻层的形成方法

摘要

一种光阻层的表面处理方法，其系在一晶圆上形成一图案化之光阻层后，使用至少含溴化氢或碘化氢之反应气体对光阻层进行一表面处理步骤，以于光阻层表面形成一硬化层。其中此一表面处理步骤系与蚀刻制程于同位进行。