| 摘要 |
Ein Muster-Festlegungsverfahren zur Bestimmung eines gezeichneten mikroskopischen Musters umfasst den Schritt der Erzeugung eines ersten Musters, in welchem sich eine Prozessverschiebeinformation bezüglich eines Musters widerspiegelt, die durch Designdaten ausgedrückt ist, den Schritt des Vergrößerns des gezeichneten Musters, den Schritt der Durchführung eines Mustervergleichs zwischen dem ersten Muster, welches dem zu bestimmenden gezeichneten Muster oder einem Muster entspricht, welches Muster enthält, die dieses erste Muster umgeben, und dem vergrößerten Muster oder einem vergrößerten Muster, welches vergrößerte Muster enthält, die dieses vergrößerte Muster umgeben, und den Schritt der Ausgabe des vergrößerten Musters, welches in dem Mustervergleich am meisten übereinstimmt. |
