发明名称 |
半导体装置 |
摘要 |
提供一种作为形成于半导体基片上的半导体装置,可有效利用半导体基片特长的半导体装置及其制造方法。在使支持基片(1)的晶 |
申请公布号 |
CN1269224C |
申请公布日期 |
2006.08.09 |
申请号 |
CN03178631.6 |
申请日期 |
2003.07.17 |
申请人 |
株式会社瑞萨科技 |
发明人 |
前田茂伸;前川繁登;松本拓治 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
马铁良;王忠忠 |
主权项 |
1.一种半导体装置,其具备:SOI基片,支持基片、氧化膜层及SOI层被依次层积,上述支持基片的第1晶向的方向和与上述SOI层的上述第1晶向不同的第2晶向的方向一致;N沟道MIS晶体管,其包含有在上述SOI层上形成的栅极绝缘膜、在上述栅极绝缘膜上形成的栅极电极、上述SOI层内在与上述栅极电极邻接的位置形成的N型源极/漏极有源层、上述SOI层内至少在上述栅极电极的下方位置形成的P型本体层;以及本体电压施加用P型有源层,其形成于上述SOI层内,与上述P型本体层接触,其中,连接上述P型本体层与上述本体电压施加用P型有源层的通路被配置为与上述SOI层的晶向<100>平行。 |
地址 |
日本东京都 |