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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060088974(A) 申请公布日期 2006.08.07
申请号 KR20050009506 申请日期 2005.02.02
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 CHO, JUNG KEUN;AN, DOO KEUN
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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